114
| Показники | Норма |
|---|
| Об’ємна частка гелію, % | не менше 99,99 |
| Об’ємна частка неону, % | не більше 0,009 |
| Об’ємна частка водню, % | не більше 0,0025 |
| Сумарна об’ємна частка окису та двоокису вуглецю, % | не більше 0,001 |
| Об’ємна частка азоту, % | не більше 0,002 |
| Об’ємна частка вуглеводнів, % | не більше 0,0005 |
| Об’ємна частка водяної пари, % | не більше 0,002 |
| Об’ємна частка кисню, % | не більше 0,0005 |
| Об’ємна частка аргону, % | не більше 0,0001 |
